Информационные партнёры

Президент РФПравительство РФ Минпромторг

MS105 Универсальная система осаждения покрытий в вакууме методом магнетронного распыления

Благодаря гибкой конфигурации и специально разработанной конструкции нагревателя установка STE MS105 дает возможность проводить процессы напыления пленок металлов, магнитных материалов и многокомпонентных оксидов при температуре на подложке до 900°С, используя магнетронные мишени в качестве источников материалов. Максимальныйдиаметр подложки 150 мм.Конструкция установки позволяет произвести монтаж через стену чистого помещения, при этом в чистой комнате располагается интерфейс системы управления и шлюз загрузки/выгрузки держателей образцов.

Предприятие:

Тип продукции:

Основные параметры и эксплуатационные характеристики: 

 Особенности конструкции реактора:• до 3-х магнетронных испарителей с мишенями 76,2 мм• возможность использования в качестве процессных газов: Ar, H2, O2, N2•магнетронные источники располагаются на гибком кронштейне и могут быть сфокусированы в одну точку (конфокальная геометрия) для обеспечения режима со-осаждения•возможность установки индивидуальных заслонок для магнетроннных испарителей•возможность установки в качестве опций электронно-лучевого и/или терморезистивного испарителей, а также источника для ионной очисткиОсновные преимущества:• использование в качестве многофункциональной установки вакуумного осаждения с различными источниками для проведения исследовательских процессов• использование для магнетронного осаждения многокомпонентных материалов из 2-3 магнетронов одновременно• возможно переконфигурирование установки для использования до 7 магнетронов для последовательного напыления материалов• использование одновременного напыления одного материала из 2-3 магнетронов одновременно для обеспечения максимальной однородности на подложках ∅100мм и ∅150ммТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИПредельное остаточное давление в реакторе <1·10-7 мм.рт.ст. (<1·10-8 мм.рт.ст.в UHV исполнении)Время достижение предпроцессного вакуума 5·10-6 мм.рт.ст. после вскрытия реактора на атмосферу при использовании ТМН 550 л/сек. и спирального насоса 35 м3/час, не более 20 мин.Рекомендуемое давление в режиме работы магнетронов 0,01 мм.рт.ст.Мощность магнетронного испарителя с размером мишени 3’’, кВт:– постоянное смещение -  2– ВЧ смещение - 0,75Диаметр поверхности, на которую производится напыление 150 ммКоррозионно-стойкое исполнение нагревателя образцаВЧ смещение на образец - 13,56 МГц Переменное смещение на образец - 1 МГц 

Предприятие разработчик: 
ЗАО "НТО"
Предприятие изготовитель: 
ЗАО "НТО"
Предприятие калькодержатель: 
ЗАО "НТО"
Присутствует в Перечне ЭКБ: 
0

Состояние производства:

© 2019 МНИИРИП. Все права защищены.

Разработка сайта: OXiTON