Информационные партнёры

Президент РФПравительство РФ Минпромторг

STE RTP150 Установка быстрой температурной обработки полупроводниковых пластин в вакууме, управляемой газовой среде

Специальная конструкция камеры, выполненной из алюминия, позволяет проводить процессы температурной обработки при экстремально высоких температурах (до 1300°С) в сочетании с длительными временем отжига (до 60 мин).
Установка ориентирована как на интенсивные исследования и разработки, так и на мелкосерийный выпуск продукции в составе пилотной производственно-технологической линии. Максимальный диаметр обрабатываемой пластины
составляет 150 мм.

Одной из отличительных особенностей конструкции STE RTP150 является разделение рабочих объемов нагревателя и отжигаемого образца. Нагреватель, представляющий собой систему линейных галогеновых ламп, находится вне реактора и нагревает графитовый столик извне рабочей камеры через установленное в ней кварцевое окно. Нагреватель позволяет проводить процессы с максимальной температурой до 1300°С и максимальной скоростью достижения заданной температуры 150°С/сек. Водоохлаждаемая алюминиевая конструкция камеры позволяет проводить длительные процессы отжига. Благодаря надежной герметизации, камера предусматривает предварительное вакуумирование с последующим напуском рабочего газа.

Предприятие:

Тип продукции:

Основные параметры и эксплуатационные характеристики: 

Режимы работы:• термическая обработка в вакууме• термическая обработка в газовой среде в режиме непрерывной продувки камеры инертным газом в ходе отжига образца• термическая обработка в газовой среде в режиме автоматического поддержания заданного уровня давления внутри камеры в ходе процессаОсобенности конструкции:• алюминиевая рабочая камера с водяным охлаждением• внешний ламповый узел нагрева с воздушным охлаждением• предварительная откачка рабочей камеры с помощью мембранного или спирального насоса• управление мощностью нагрева с помощью тиристорного регулятора• автоматизация процесса откачки и газовой продувки камеры, позволяющая проведение процесса «по нажатию одной кнопки»• возможность программирования «многостадийного» процесса отжига с помощью встроенного ПИД-контроллера• контроль температуры рабочего столика с помощью двух термопар• возможность установки оптического пирометра для дополнительного контроля температурыповерхности отжигаемой пластины (опция) с оптическим доступом в центр и в край обрабатываемой пластины ∅150мм• возможность отжига в вакууме (в сочетании с опциональным усилением откачки)• простота эксплуатации

Предприятие разработчик: 
ЗАО "НТО"
Предприятие изготовитель: 
ЗАО "НТО"
Предприятие калькодержатель: 
ЗАО "НТО"
Присутствует в Перечне ЭКБ: 
0

Состояние производства:

© 2019 МНИИРИП. Все права защищены.

Разработка сайта: OXiTON